РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ,
а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов



ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение:ГОСТ Р 52250-2004
Статус:действующий
Тип:ГОСТ Р
Название русское:Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название английское:Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:10.08.2017
Дата издания:02.07.2004
Дата введения в действие:01.01.2005
Дата последнего изменения:13.07.2017
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Расположен в:
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 1
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 2
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 3
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 4
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 5
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 6
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 7
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 8
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 9
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 10
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 11
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 12
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 13
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 14
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 15
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 16
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 17
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 18
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 19
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 20
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 21
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 22
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 23
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 24
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 25
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 26
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 27
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 28
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 29
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 30
ГОСТ Р 52250-2004. Страница 31

Вернуться в "Каталог государственных стандартов" (ГОСТ)