ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ)
Утверждён в:
Ростехрегулирование (20.11.2007)
Опубликован в:
Стандартинформ № 2008
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Оглавление:
1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Библиография
Ключевые слова:
длина рельефные меры нанометрового диапазона сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы методика калибровки
