РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ, а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов
Произвольная ссылка:
ГОСТ 8.592-2009
ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Статус:
действующий (Введен впервые)
Обозначение:
ГОСТ 8.592-2009
Название русское:
ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Дата актуализации текста:
17.06.2011
Дата добавления в базу:
17.06.2011
Дата введения:
2010-11-01
Разработан в:
ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Утверждён в:
Ростехрегулирование (05.04.2010)
Опубликован в:
Стандартинформ № 2010
Область и условия применения:
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:
1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа 5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления Библиография
Ключевые слова:
размеры длина материал рельефные меры нанометрового диапазона растровые электронные микроскопы монокристаллический кремний формы зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы