РАГС - РОССИЙСКИЙ АРХИВ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТОВ, а также строительных норм и правил (СНиП)
и образцов юридических документов
Произвольная ссылка:
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Обозначение:
ГОСТ 5.2105-73
Статус:
действующий
Тип:
ГОСТ
Название русское:
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название английское:
Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:
06.04.2015
Дата актуализации описания:
01.01.2021
Дата регистрации:
00.00.0000
Дата издания:
04.10.1973
Дата введения в действие:
01.09.1973
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
